第438章 光刻机项目:另辟蹊径
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沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透,兴奋得睡不着。 喝了一杯茶,他想看看芯片制造技术的核心设备:光刻机。 目前市场上,有两种主流光刻机,一个是duv光刻机,另一个是euv光刻机。duv是深紫外线(deepultravioletlithography),euv是极深紫外线(extreultravioletlithography)。 从制程范围来看,duv基本上只能做到25nintel凭借双工作台的模式做到了10n但是却无法达到10n下。 只有euv能满足10n下的晶圆制造,并且还可以向5n3n续延伸。 这个线宽其实就是跟光的线宽有关系,比如可见光的g线,那就是436n如果用来刻蚀,线路肯定很宽。 可以简单地认为,光刻机的光系统其实就是一支画笔,不同的光代表不同粗细大小的笔芯,越细的笔(光)能够画越细越复杂的画。 duv就是彩笔,euv就是中性笔,中性笔画的线条比较细,比较好用。 这么理解,也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。 当前,国外品牌光刻机主要以荷蓝asml,岛国nikon和canon三大品牌为主。 euv的价格是1—3亿美金/台,duv的价格为2000万—5000万美金/台不等。 目前先进的光刻系统就是euv光刻机,如果沐阳打算走euv光刻机路线,必然绕不开别人的技术专利保护范围。 因此,他只能寻找另外光种的光刻机,同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。 就说分辨率,如果制作出来的电路图模糊不清,那芯片肯定不好。 光刻机其它的指标,也可以比喻成画笔的性能就行了。 并不是说,沐阳不能搞光刻机了,只是说,再搞duv和euv光刻机,绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。 所以,他只能另辟蹊径。 很久之前,沐阳就想到过电子束光刻机。 原本,再过几年,漂亮国的一个实验室研发出一套名为zyvexlitho1的光刻系统,基于stm扫描隧道显微镜,使用的是ebl(e-beaithography)电子束光刻方式,制造出了0.7n宽的芯片,只是没法实现批量生产,或者成本高过。 沐阳相信,如果是技术成熟的电子束光刻机,线宽比0.7n小。 他在系统商店普通货架上默念搜索「电子束光刻机」,很快,搜索出几款相关技术。 沐阳选择适合自己公司的一款技术:ebl01 技术参数: 1.最小线宽:小于1nbr/> 2.加速电压:5—500kv 3.电子束直径:小于0.5nbr/> 4.套刻精度:1nan+0.20) 5.拼接精度:1nan+0.20) 6.加工晶圆尺寸:4—18英寸 7.描电镜分辨率:小于0.2nbr/> 主要特点: 1.采用超高亮度和超高稳定性的tfe电子枪; 2.出色的电子束偏转控制技术; 3.采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率可达0.0002n 4.采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0.002ad; 5.应用领域广泛,如 微纳器件加工,研究用掩膜制造,纳米加工(例如单电子器件、量子器件制作等),高频电子器件中的混合光刻,图形线宽和图形位移测量等。 ..... 需要成就点:300点! .... 沐阳大概看了下简介,光从技术参数上就看出它的先进性。 还有更加先进的光刻机,但是,以星海集团目前的条件,买了也造不出来,而且需要的成就点非常多。 这个ebl01号称可以制造1n下的芯片,但量产成本会比较高。 因此,当前的情况,星海集团可以从7n片工艺开始,可以保证在2018年之前保持在世界第一地位。 等竞争对手可以批量搞7n片了,星海集团再推出5n3n片。 有些设备应用,也用不着这么高端的芯片,28n片工艺足够,也是未来十年内的主流。 只是说,沐阳不打算玩什么中低端芯片。 另外,沐阳打算弄一些小于1n芯片,用于制造量子计算机和超算,这类芯片他打算自用。 接下来,沐阳确认购买ebl01技术。 十几分钟后,沐阳把ebl01技术吸收完毕。 他感觉自己对光刻机有了更深入的了解,如今就是实实在在的芯片制造顶尖专家。 买了光刻机的技术,沐阳还得购买芯片设计技术、芯片设计相关软件和相关设备。 这个芯片设计软件,他就不打算自己研发了,他在芯片软件设计这一块是弱点,靠自己研究不知道得花多长时间。 而且,目前公司形势严峻,一旦漂亮国知道自己公司在搞芯片了,会对星海集团搞各种限制。 沐阳现在赶时间,同时还有更多更重要的事情需要他亲自处理。 于是,他又花了400点成就点。 这一晚,沐阳就花了700点成就点,还是有些心疼。 等吸收完新技术后,沐阳实在有些发困了,回床休息。 翌日,沐阳是被宋雪露吧嗒一下脸蛋睡醒的。 「孩子他爸,生日快乐。」 「谢谢,有你真好。」 沐阳睁开朦胧的双眼,揽过妻子的纤腰。 他老婆跟他同年出生,只比他小几个月。 系统8级时,商店有驻颜、延迟衰老类的医药技术,沐阳希望在二十年内研发出来,能够用在老婆身上。 「我看你挺疲惫的,昨晚几点睡的?」 「好像凌晨三点多了吧。」 「这么晚呀,又有什么烦恼?」 「不是烦恼,就是突然想到一些灵感,就起来记录一下。「沐阳揉一揉老婆的秀发道。 「哦,现在才七点多,你继续睡一会吧。」 沐阳点头,继续补觉,直到九点才起床。 今天他生日,也没搞什么庆祝仪式,他不太喜欢搞这一套,现在家里不缺钱,吃喝都是最好的,每天过得跟过节一样。 吃过早餐,陪了一会孩子。 现在孩子已经会喊他爸爸了,只是发音不够清晰。 他对几个照看孩子的婴儿师和佣人检测了一下忠诚度。 忠诚度并不是瞄一眼就能测试出来,大概需要几秒钟时间,而且被检测人员在沐阳几米范围内。 被检测的人员,头顶冒出一个拳头大小的数值,超过70的数值都是绿色,值越高,颜色越深。 最终,他们的忠诚度都在80—85之间,这也让沐阳放心了些,他最怕某个佣人对他的孩子不怀好意。 然 后,沐阳再检测自己的保镖,发现忠诚度就高了许多,都在88以上。 保镖追随自己的时间长,跟自己关系好,沐阳对他们也好,忠诚度高一些也属正常。 同时,沐阳发现,他检测十个人之后,他发现自己系统金钱竟然少了一千万。 检测一个人的忠诚度就花一百万系统金钱? 如果只是这样的话,沐阳还能接受,只是,如果不是公司重要骨干和重要人员,那真的没必要进行检测了。 他是随随便便赚到一百万元,但却不容易刷到一百万系统金钱,说不定这系统金钱在未来有更大用处呢。 对于家人,沐阳不想检测什么忠诚度,也没有想过。 如果有那个想法,说明已经不信任家人了。 第二天,公司正常上班。 沐阳借新的一年开个中高层管理层碰头会,其实就是想检测所有中高管理层的忠诚度,最终发现都在80到90之间,像周晨和张萧峰对他的忠诚度都达到了90。 管理层不存在间谍,沐阳没有之前的担忧了。 一般情况,沐阳都不用再去开什么会了,现在都由集团总裁周晨来负责公司大小事务,如今更加放心了。 沐阳检测完管理层的忠诚度后,在各技术部和实验室走一圈,针对重要部门的核心人员进行检测,发现大多员工忠诚度在70到85之间。 这一轮检测,沐阳还真发现了两个异常数值,两个都是高级软件工程师,忠诚度值分别是17和19,头顶的忠诚值颜色变成红色,都是在工业软件部门,进公司不到一年时间。 其它部门的技术不好愉,但软件类核心代码,那真是的好偷多了,只不过,公司针对这一类核心技术保护得很好,别说一般员工,就连工业软件的管理层都难接触到。 沐阳记下对方名字后,回到办公室,找来人事总监赖春琴,她在去年由人事经理提升到总监级别。 等赖春琴到他办公室后,沐阳把一张纸条递给她,严肃地说:「赖总,帮我认真查一下这两个人的背景和来历,注意动静。」 「董事长,你怀疑他们是间谍?「虽然赖春琴是第一次听董事长这么交代,但她做为人事总监,负责人员招聘,警惕性很高,不少间谋想混进星海集团,她也是跟下属这样提醒。 沐阳脸色郑重,随意找一个借口:「是的,你说的没错,间谍的可能性比较高,如果真是,危害性比较高。 让保安部检查一下两个人的历史视频,如果发现真有对公司不利的举动,已经违法的话,那就报警; 如果没有,想办法辞掉,也不用调到非核心部门,我们没有心思跟他们玩猫抓老鼠游戏,谁知道他们哪一天搞大破坏。」 「好的。」 赖春琴点头,也没问董事长是如何发现的,谁告诉他,这不是她应该问的。 她离开后,就让人事经理方雪认真调查两人的情况。 公司的办公室和实验室都安装有高清摄像头,不算是侵犯员工的隐私权。 还有沐阳设计的员工行为数据分析软件,可以直接锁定某个人员的视频,一般情况下,都不会动用这个,只有人事部的管理层和高层知道这个玩意,尚未在保安部开放。 每个员工都录过人脸识别,所以这个软件才具备锁定功能。 只用了半天时间审查,结果就出来了。 查背景,的确没查出什么。 但查看视频时,发现两人的行踪,特别是晚上加班后的行踪,有些鬼鬼祟祟。 公司也不能无缘无故辞退员工,但赔偿到位,员工也没法说什么。 1月3号上午,被查的一名高级软件工程师陈一方来找人事部找人事经理质问: 「为什么辞退我,我又没有犯什么错,每天兢兢业业工作。」 「不好意思,这是上面的决定,公司会赔偿你的损失。」人事经理方雪很抱歉说道,没有证据的事,她也不好说出来。赖总把这件事交给她处理,只能做到这一步了。 另一位员工,反倒是没说什么,直接同意了,估计是知道原因了,星海集团不想撕破脸,暂时没找到证据而已。 「我不要什么赔偿,我只想留在公司继续做下去。」 「陈一方,其实大家没必要耗下去,我虽然不知道是什么原因,但肯定是有原因的,星海集团不会无缘无故辞退员工,你先回去考虑一下吧。」 陈一方听到这话,只好气呼呼离开人事部,请假半天时间。 他离开星海集团的范围,打了一个隐秘电话。 「你的行动被发现了?」 「应该没有,我到星海集团接近一年时间,根本没有做出什么行动,如果没有把握,我不会轻易动手的。星海集团的技术保密做得非常好,ad软件的核心代码,别说是专家,就连技术经理,都难以接触到,听说是沐阳亲自编写的。」 「那么大的工作量,沐阳不太可能亲自编写,有可能他有另外的技术团队,只是你们不知道而已。既然怀疑到你了,而没有说明原因,说明星海集团没有找到证据,你留下来也没用了,回来吧,公司需要你。」 陈一方知道老板不相信沐阳的神奇,也不想过多地解释,思索了一会,叹了口气:「好的。」 如果是正常情况,星海集团给的待遇真的非常好,他是不想离开的,而且元旦过后,公司正式给员工发放海外悍马公司的股权激励。 但是,有些事情,并不是钱能够讲得通的。 如果他背叛他的老板,他和家人的下场估计会很惨,这是他不愿意尝试的。 当天下午,他再次找人事经理方雪,同意离职,第二天就搬离星海集团。 沐阳再次收到赖春琴的汇报时,郑重说了一句:「嗯,知道了。」 虽然被开除的两人只是两个小人物,但沐阳也不得不重视起来,毕竞一粒老鼠屎,就能搞脏一锅汤。 升级后的沐阳非常繁忙,有很多计划执行,而且元旦过后,离今年春节很近了,1月30日就是除夕,公司计划1月24日正式放年假,他的事情也多了一些。 今年还是按照去年一样,年会和年夜饭都在同一天召开,在公司篮球场举办年会。 芯片制造的设备研发周期会比较长,ebl电子束光刻机的设备是复杂,但难度不在结构性的复杂,而是很多零部件很难在市场上找到匹配的,只能向厂商定制,另一方面,由于生产量不大,厂商并不多,可能全球就只有一家生产某个零部件,对方不一定卖给星海集团,最难的就在这里。 如果定制弄不到,那只能自己研发生产,会拉长整个研发周期。 沐阳一翻思索,芯片是公司的重中之重,也关系到未来智能化的布局。 只要是不容易采购的进口零部件,公司还是想办法自主研发生产,不能被老外卡脖子。 先搞电子束光刻机,等进展差不多了,再搞芯片设计,一步一步来。 /90/90071/32050874.html